超高纯隔膜阀选型指南：压力、Cv、尺寸与驱动方式

1. 按系列与等级核对结构和材料

• 阀体： LD、HD、B23 的材质按产品等级区分：BA、EP 为 SS316L，SEP 为 SS316L VAR（真空电弧重熔）。其他系列的材质按各自目录和订购代码核对。HDH 内部无弹簧，阀座与膜片焊接为一体。DS 为无填料全金属阀体。
• 流道与表面： LD、HD、B23 的等级表中，BA 内表面粗糙度为 Ra 10 µin，EP、SEP 为 Ra 5 µin；不能把 Ra 5 µin 视为所有配置的共同值。流道便于吹扫；其他系列按对应目录核对。
• 膜片： Hastelloy® C-22 或钴基高温合金（UNS R30003），强度高、耐腐蚀。
• 阀座： 全包覆阀座设计，抗溶胀和污染，氦检泄漏性能更好，颗粒产生少。
• 泄漏率： 内漏 1 × 10⁻⁹ sccs He；外漏 1 × 10⁻⁹ sccs He。
• 等级： BA、EP、SEP。
• 每只阀门出厂前都做氦检，并洁净装配、洁净包装，适用于半导体场合。

2. 先按工作压力选系列

工作压力是第一道筛选。所选系列的额定值要高于管路中的最高压力；如果阀门装在减压阀上游，还要算上钢瓶或气源压力。

HDH 的配对： 高压力和高 Cv 是两种不同配置。3,000 psig 的 HDH 是 Cv 0.7，不是 1.3。

3. 按管径核对流量（Cv）

Cv 表示在一定压降下阀门能通过多少流量。低压侧，LD 的 Cv 从 1/4" 的 0.27 增加到 3/4" 的 1.7。高压侧，1,300 psig 的 HDH 为 Cv 1.3，HD 为 Cv 0.27。

4. 按气体和温度选阀座材料

加热管路或需要更高阀座温度的气体，选 PFA 或 Vespel®。阀座兼容性必须按实际气体核对，"高纯"不代表适用所有气体。

5. 手动还是气动

• 手动阀采用 270° 手柄，适合手动操作的隔离点，例如钢瓶隔离和维修隔离。
• 气动阀有常闭（NC）和常开（NO）。断气时必须关闭的位置用 NC，危险气体通常选 NC；只有断气时管路必须保持通路的场合才用 NO。

6. 用 B23 组合阀减少死体积

B23 系列把两只 LD 或 HD 隔膜阀做在一条共用流道上，常用于吹扫阀与工艺阀成对使用的场合。与两只独立阀门相比，死体积更小，管路布置更紧凑。端口有立式和卧式，GCTEC 也可以做三阀及以上的特殊组合块。

7. 确定接口和表面等级

隔膜阀通常提供 VCJ 金属面密封接口（公螺母或母螺母）、卡套接口或管对焊接口。请逐个端口说明尺寸和类型，以及 BA、EP 或 SEP 等级。

询价前请准备

1. 气体，以及阀门安装位置的正常和最高压力
2. 所需流量，或管径和允许压降
3. 手动还是气动；气动的话是 NC 还是 NO
4. 阀座材料和工作温度
5. 接口、尺寸和等级（BA / EP / SEP）
6. 单阀还是 B23 组合阀；数量；如是替换，提供现有料号

一般询价清单见高纯隔膜阀选型。