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高纯流体控制

超高纯（UHP）气体减压阀

316L / 316L VAR · BA 或 EP 内表面 · 金属对金属膜片密封 · 有真空型和背压型

面向高纯气体系统的减压与背压控制，请提供气体介质、入口／出口压力、流量和接口要求。

气体介质说明气体名称与纯度要求
入口／出口压力说明入口压力、出口范围与单位
所需流量说明流量、单位与工况
接口要求NPT、面密封及所需尺寸
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超高纯减压阀

气体减压与背压控制 · 按具体工况选型

按工况选择减压阀

按应用需求选择

先选择控制用途，再核对具体型号和配置。

12 个系列 · 压力范围、流量与接口按具体型号和配置分别适用。

GR1000 系列 · 小／中流量单级

小／中流量

GR1000 系列 · 小／中流量单级

  • 标准 Cv 0.09；HF 高流量 Cv 0.15。
  • 内部容积 8 cm³，目录列有 BA 与 EP 流道处理。
  • 入口压力按 A-E 代码分别选定，最高等级 E 为 3500 psig。
  • 1/4 in、3/8 in VCJ 或管端；焊接通口配置为 2PW、3PW、4PW。
入口压力配置
入口等级 A
100 psig
入口等级 B
300 psig
入口等级 C
600 psig
入口等级 D
1000 psig
入口等级 E
3500 psig
型号与出口压力范围
GR1001
1-10 psig按所选配置核对
GR1002
1-30 psig按所选配置核对
GR1006
2-60 psig按所选配置核对
GR1010
2-100 psig按所选配置核对
GR1015
5-150 psig按所选配置核对
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GR1100 系列 · 低压真空控制

真空调节

GR1100 系列 · 低压真空控制

  • Cv 为 0.05，内部容积为 8 cm³。
  • 最大入口压力标注 300 psig。
  • 目录列有 1/4 in、3/8 in VCJ 和管端。
  • 提供 BA / EP 流道处理及后部或面板安装。
入口压力配置
入口压力
真空至 300 psig
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GR1200 系列 · 高性能大流量高压

大流量／高压

GR1200 系列 · 高性能大流量高压

  • 标准 Cv 0.9；HF 为 1.1；FC 为 0.65。
  • 标准和 HF 入口等级为 1700 psig；FC 为 300 psig。 HR 最大入口压力为 3000 psig。
  • HF、FC、HR 选项互斥，不能同时组合。
  • VCJ 与管端覆盖 1/4 in 至 3/4 in。
入口压力配置
标准 / HF
真空至 1700 psig
FC
真空至 300 psig
HR
3000 psig
型号与出口压力范围
GR1202
1-30 psig不适用于 FC / HR
GR1206
1–60 psig不适用于 FC / HR
GR1210
2-100 psig按所选配置核对
GR1215
5-150 psig按所选配置核对
GR1225
250 psig（固定值）按所选配置核对
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GR1300 系列 · 大流量管路

大流量／高压

GR1300 系列 · 大流量管路

  • Cv 1.1，内部容积按目录为 1.19 in³ (19.6 cm³)。
  • 目录最大流量 1000 SLPM，实际流量随入口、出口压力和端接变化。
  • 标准 300 psig 与 C 选项 600 psig 分开选定。
  • BA / EP 流道处理，VCJ 与管端连接。
入口压力配置
标准配置
300 psig
C 配置
600 psig
型号与出口压力范围
GR1302
1-30 psig按所选配置核对
GR1306
2-60 psig按所选配置核对
GR1310
2-100 psig按所选配置核对
GR1315
5-150 psig按所选配置核对
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GR1400T 系列 · 高性能中流量

小／中流量

GR1400T 系列 · 高性能中流量

  • Cv 0.45，目录最大流量 400 SLPM。
  • TA、标准和 HR 的入口等级分别列为 300、2300、3000 psig。
  • VCJ 或对焊端接；尺寸和材质按 GR1400T 目录页。
  • 阀座订货表列 Blank=PCTFE、VS=Vespel。
  • 真空调节对应 TA 型号及其入口等级；VS 是阀座代码。
入口压力配置
GR1400TA
真空至 300 psig
GR1400T（标准）
真空至 2300 psig
GR1400T HR
真空至 3000 psig
型号与出口压力范围
GR1402TA
-12.7-30 psig按所选配置核对
GR1402T
1-30 psig按所选配置核对
GR1406T
1–60 psig按所选配置核对
GR1410T
2-100 psig按所选配置核对
GR1415T
5-150 psig按所选配置核对
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GK1000 系列 · 小／中流量单级

小／中流量

GK1000 系列 · 小／中流量单级

  • 标准 Cv 0.09；HF 为 0.15。
  • 内部容积 8 cm³，BA 流道光洁度 Ra 15 µin。
  • NPT 内螺纹 1/4 in；卡套为 1/4 in 或 3/8 in。
  • 入口等级按 A-E 分别选定，E 为 3500 psig。
入口压力配置
入口等级 A
100 psig
入口等级 B
300 psig
入口等级 C
600 psig
入口等级 D
1000 psig
入口等级 E
3500 psig
型号与出口压力范围
GK1001
1-10 psig按所选配置核对
GK1002
1-30 psig按所选配置核对
GK1006
2-60 psig按所选配置核对
GK1010
2-100 psig按所选配置核对
GK1015
5-150 psig按所选配置核对
GK1020
5-200 psig按所选配置核对
GK1030
5-300 psig按所选配置核对
GK1050
5-500 psig按所选配置核对
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GK1200 系列 · 高性能大流量高压

大流量／高压

GK1200 系列 · 高性能大流量高压

  • 标准 Cv 0.9；HF 为 1.1；FC 为 0.65。
  • 标准和 HF 入口等级为 1700 psig；FC 为 300 psig。 HR 最大入口压力为 3000 psig。
  • HF、FC、HR 选项互斥，不能同时组合。
  • NPT 内螺纹和卡套端接覆盖 1/4 in 至 1/2 in。
入口压力配置
标准 / HF
真空至 1700 psig
FC
真空至 300 psig
HR
3000 psig
型号与出口压力范围
GK1202
1-30 psig不适用于 FC / HR
GK1206
1–60 psig不适用于 FC / HR
GK1210
2-100 psig按所选配置核对
GK1215
5-150 psig按所选配置核对
GK1225
250 psig（固定值）按所选配置核对
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GK1300 系列 · 大流量管路

大流量／高压

GK1300 系列 · 大流量管路

  • Cv 1.1，内部容积按目录为 1.19 in³ (19.6 cm³)。
  • 目录最大流量 1000 SLPM，实际流量随入口、出口压力和端接变化。
  • 标准 300 psig 与 C 选项 600 psig 分开选定。
  • BA 流道处理，NPT 内螺纹与卡套连接。
入口压力配置
标准配置
300 psig
C 配置
600 psig
型号与出口压力范围
GK1302
1-30 psig按所选配置核对
GK1306
2-60 psig按所选配置核对
GK1310
2-100 psig按所选配置核对
GK1315
5-150 psig按所选配置核对
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GK1400T 系列 · 高性能中流量

小／中流量

GK1400T 系列 · 高性能中流量

  • Cv 0.45，目录最大流量 400 SLPM。
  • TA、标准和 HR 的入口等级分别列为 300、2300、3000 psig。
  • NPT 内螺纹或卡套端接；参数按 GK1400T 目录页。
  • 阀座订货表列 Blank=PCTFE、VS=Vespel。
  • 真空调节对应 TA 型号及其入口等级；VS 是阀座代码。
入口压力配置
GK1400TA
真空至 300 psig
GK1400T（标准）
真空至 2300 psig
GK1400T HR
真空至 3000 psig
型号与出口压力范围
GK1402TA
-12.7-30 psig按所选配置核对
GK1402T
1-30 psig按所选配置核对
GK1406T
1–60 psig按所选配置核对
GK1410T
2-100 psig按所选配置核对
GK1415T
5-150 psig按所选配置核对
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GK9200 系列 · 大流量管路

大流量／高压

GK9200 系列 · 大流量管路

  • Cv 1.8，内部容积 36.0 cm³。
  • NPT 内螺纹 1/2 in、3/4 in；卡套另有 1 in。
  • 订货表列 2P、3P、4P 通口配置。
  • PTFE、PCTFE、Vespel 阀座选项分别通过订货代码选择。
入口压力配置
标准配置
300 psig
C 配置
600 psig
型号与出口压力范围
GK9202
1-30 psig按所选配置核对
GK9206
2-60 psig按所选配置核对
GK9210
2-100 psig按所选配置核对
GK9215
5-150 psig按所选配置核对
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GBP1000 系列 · 高纯低压背压控制

背压控制

GBP1000 系列 · 高纯低压背压控制

  • Cv 0.20，内部容积 8 cm³。
  • 型号表提供六档压力设定范围，不把 0-300 psig 视为所有型号通用调节范围。
  • VCJ 和管端连接；BA / EP 流道处理。
  • 阀座按 FKM 或 FFKM 配置区分温度范围。
入口／出口压力配置
入口／出口压力范围
0-600 psi
型号与压力设定范围
GBP1001
1-10 psig按所选配置核对
GBP1002
1-30 psig按所选配置核对
GBP1006
2-60 psig按所选配置核对
GBP1010
2-100 psig按所选配置核对
GBP1015
5-150 psig按所选配置核对
GBP1030
15-300 psig按所选配置核对
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GBK1000 系列 · 通用气体低压背压控制

背压控制

GBK1000 系列 · 通用气体低压背压控制

  • Cv 0.20，内部容积 8 cm³。
  • 型号表提供六档压力设定范围，不把 0-300 psig 视为所有型号通用调节范围。
  • NPT 内螺纹和卡套连接；BA 流道处理。
入口／出口压力配置
入口／出口压力范围
0-600 psi
型号与压力设定范围
GBK1001
1-10 psig按所选配置核对
GBK1002
1-30 psig按所选配置核对
GBK1006
2-60 psig按所选配置核对
GBK1010
2-100 psig按所选配置核对
GBK1015
5-150 psig按所选配置核对
GBK1030
15-300 psig按所选配置核对
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产品特点与技术参数

本家族涵盖 GR / GK 单级减压阀，以及 GBP / GBK 背压控制产品。可从低／中流量、管路大流量、高入口压力或真空调节需求出发，按具体系列比较接口、流量系数及材料配置。

  • GR1000 与 GK1000 提供标准和 HF 配置；流量系数须对应具体版本。
  • GR1400T 与 GK1400T 采用一体式隔膜／阀芯设计，属于中流量系列。
  • GR1300 与 GK1300 为大流量管路系列，接口尺寸和连接形式分别核对。
  • GR1100 及 GR1402TA / GK1402TA 配置提供真空调节选型入口。
  • GBP1000 与 GBK1000 属于背压控制产品，压力控制目的需单独说明。

系列与流量系数对照

表格显示不全时，左右滑动查看完整参数。

系列与流量系数对照
系列选型定位流量系数 Cv
GR1000小／中流量单级标准 0.09；HF 0.15
GR1100低压真空调节0.05
GR1200大流量高压标准 0.9；HF 1.1；FC 0.65
GR1300大流量管路1.1
GR1400T中流量；一体式隔膜／阀芯0.45
GK1000小／中流量单级标准 0.09；HF 0.15
GK1200大流量高压标准 0.9；HF 1.1；FC 0.65
GK1300大流量管路1.1
GK1400T中流量；NPT / 卡套0.45
GBP1000高纯低压背压控制0.20
GBK1000通用气体低压背压控制0.20

本表按当前减压阀目录的 11 个系列及其配置比较。GK9200 的参数见其独立系列资料。各系列的压力、温度、阀座及端接限制须分别核对。

选型信息与对应资料

表格显示不全时，左右滑动查看完整参数。

选型信息与对应资料
选型项目需要核对的内容
控制目的减压控制、真空调节或背压控制；先匹配对应系列。
压力配置入口压力等级、目标压力范围及标准 / HF / FC / HR 等配置代码。
流量与接口目标流量、对应 Cv、两端接口形式和尺寸；结合原目录曲线使用。
介质与材料介质、阀体及内部零件材料、阀座材料和相应温度范围。
安装与布局端口数量、进出口及仪表口位置、后部或面板安装。

具体型号的适用条件和完整配置以对应系列资料及项目确认结果为准。

资料来源：英文原始目录（参数摘录来源） · 第 106、107、108、109、110、111、112、113、114、115、116、117、118、119、120、121、122、123、124、125、126、127 页 ↗

目录、图纸与订购信息

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超高纯减压阀

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当前家族目录；系列参数请进入对应系列查看。

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