FD 系列手动隔膜阀
FD 系列低压隔膜阀采用锻造阀体，目录提供 1/4、3/8、1/2 和 3/4 英寸 VCJ 连接配置。手动版本采用 270° 操作。可按 BA 或 EP 表面处理及阀座、隔膜材料选择对应配置。
产品特点与技术参数
FD 系列低压隔膜阀采用锻造阀体，目录提供 1/4、3/8、1/2 和 3/4 英寸 VCJ 连接配置。手动版本采用 270° 操作。可按 BA 或 EP 表面处理及阀座、隔膜材料选择对应配置。
- 采用锻造阀体，流路设计注重较小死体积与易吹扫性。
- 提供 VCJ 外螺纹和 VCJ 内螺纹连接。
- 目录列有 SS 316L、Hastelloy C-22 及钴基高温合金隔膜材料。
- 全包覆阀座设计用于降低颗粒产生并支持污染控制。
- 目录说明产品面向高纯半导体应用进行高洁净装配和包装，出厂前逐件氦检漏。
基本技术参数
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| 项目 | 目录说明 |
|---|---|
| 操作方式 | M = 270° 手动 |
| 最大工作压力 | 250 psig (17.2 bar) |
| 内漏率 | ≤ 1 × 10^-10 Pa·m³/s |
| 外漏率 | ≤ 1 × 10^-10 Pa·m³/s |
| 目录标示循环寿命 | 100,000次 |
循环次数为当前目录标示值；目录未列完整寿命测试工况，具体工况适用性需另行确认。
接口尺寸与流量系数
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| 接口尺寸 | 流量系数 Cv |
|---|---|
| 1/4 in. | 0.27 |
| 3/8, 1/2 in. | 0.65 |
| 3/4 in. | 0.65 |
按阀座材料区分的工作温度
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| 项目 | 目录说明 |
|---|---|
| PCTFE 阀座 | -40 to 80 °C (-40 to 176 °F) |
| PFA 或 Vespel® 阀座 | -26 to 177 °C (-15 to 350 °F) |
温度范围须对应所选阀座材料；压力和温度须结合实际配置确认。
材料与表面处理
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| 项目 | 目录说明 |
|---|---|
| 阀体 | SS 316L / A182 |
| BA 等级 | 机械抛光；Ra 10 μin；单层包装 |
| EP 等级 | 电抛光；Ra 5 μin；双层包装 |
| 清洗 | 脱脂与精密清洗 |
| 阀座材料 | PCTFE; PFA; Vespel® |
| 隔膜材料 | SS 316L；Hastelloy C-22；钴基高温合金 |
型号与尺寸
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| 型号 | 端口尺寸（英寸） | 连接 | A（mm） | B（mm） | C（mm） | D（mm） | E（mm） | F（mm） | G（mm） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| FD4MS-VC | 1/4 | VCJ 外螺纹 | 57 | 11 | 59.3 | 40 | 26.5 | 26.8 | 18.5 |
| FD6MS-VC | 3/8 | VCJ 外螺纹 | 77 | 16 | 73.4 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| FD8MS-VC | 1/2 | VCJ 外螺纹 | 77 | 16 | 73.4 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| FD12MS-VC | 3/4 | VCJ 外螺纹 | 88 | 22 | 81.9 | 40 | 40 | 38 | 28 |
| FD4MS-VFC | 1/4 | VCJ 内螺纹 | 70.6 | 11 | 59.3 | 40 | 26.5 | 26.8 | 18.5 |
| FD6MS-VFC | 3/8 | VCJ 内螺纹 | 83 | 16 | 73.4 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| FD8MS-VFC | 1/2 | VCJ 内螺纹 | 83 | 16 | 73.4 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| FD12MS-VFC | 3/4 | VCJ 内螺纹 | 113 | 22 | 81.9 | 40 | 40 | 38 | 28 |
尺寸单位为 mm，仅供参考，可能变动。尺寸字母对应原 PDF 图纸；安装前按完整型号确认。
订购配置
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| 项目 | 目录说明 |
|---|---|
| 订购示例 | FD4MS-VC-EP-SH |
| 尺寸代码 | 4 = 1/4 in.; 6 = 3/8 in.; 8 = 1/2 in.; 12 = 3/4 in. |
| 阀体流路 | S = 直通 |
| 连接代码 | V = VCJ 外螺纹；VF = VCJ 内螺纹 |
| 阀座代码 | C = PCTFE; A = PFA; VS = Vespel® |
| 阀体 / 隔膜代码 | SH = SS 316L / Hastelloy C-22；SE = SS 316L / 钴基高温合金 |
| 操作代码 | M = 270°手动 |
| 表面处理代码 | BA = Ra 10 μin；EP = Ra 5 μin |
标准选项及完整尺寸请参阅原 PDF；订购前确认所需接口及材料组合。
资料来源：原始目录 · 第 84、85 页 ↗
