LD 系列低压手动隔膜阀
LD 系列低压手动隔膜阀提供 270° 手动操作，目录列有 VCJ 外螺纹、VCJ 内螺纹、卡套和对焊连接形式。技术参数、阀座温度范围及表面处理按目录中的对应配置列示。
产品特点与技术参数
LD 系列低压手动隔膜阀提供 270° 手动操作，目录列有 VCJ 外螺纹、VCJ 内螺纹、卡套和对焊连接形式。技术参数、阀座温度范围及表面处理按目录中的对应配置列示。
- 提供 SS 316L 与 SS 316L VAR 阀体配置；材料按 BA、EP 和 SEP 等级区分。
- 采用易于吹扫的全扫掠流路，目录描述其具有较小关断容积及流量优化设计。
- 目录列有 SS 316L、Hastelloy C-22 和钴基高温合金隔膜材料；特点部分将钴基合金标识为 UNS R30003。
- 采用全包覆阀座设计，目录描述其用于抗溶胀、污染控制、降低颗粒产生和改善氦检漏性能。
- 目录说明产品采用面向半导体应用的高洁净装配和包装，并逐件进行氦检漏。
基本技术参数
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| 项目 | 目录数值 |
|---|---|
| 操作方式 | 270° 手动 |
| 最大工作压力 | 250 psig（17.2 bar） |
| 内漏率 | 1 × 10^-9 sccs He |
| 外漏率 | 1 × 10^-9 sccs He |
数值与单位按原目录列示。泄漏率原文未列不等号。
端口尺寸与流量系数
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| 端口尺寸（英寸） | 流量系数 Cv |
|---|---|
| 1/4 | 0.27 |
| 3/8, 1/2 | 0.7 |
| 3/4 | 1.7 |
此表按原目录的端口尺寸分组列示；3/4 英寸对应的型号与尺寸未出现在本两页的订购和尺寸表中。
按阀座材料区分的工作温度
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| 阀座材料 | 摄氏温度 | 华氏温度 |
|---|---|---|
| PCTFE | -40 to 80 °C | -40 to 176 °F |
| PFA, Vespel® | -26 to 177 °C | -15 to 350 °F |
温度范围须对应所选阀座材料。
产品等级
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| 等级 | 阀体材料 | 内表面粗糙度 | 抛光方式 | 包装 |
|---|---|---|---|---|
| BA | SS 316L | Ra 10 μin | 机械抛光 | 单层袋装 |
| EP | SS 316L | Ra 5 μin | 电解抛光 | 双层袋装 |
| SEP | SS 316L VAR | Ra 5 μin | 电解抛光 | 双层袋装 |
清洗：脱脂清洗及精密清洗。μin 为微英寸，保留原单位。
材料选项
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| 部件 | 材料 |
|---|---|
| 阀体 | SS 316L / A479；SS 316L VAR / SEMI F20-0305 |
| 隔膜 | SS 316L、Hastelloy® C-22、钴基高温合金 |
| 阀座 | PCTFE、PFA、Vespel® |
材料表为目录列示的选项，具体阀体/隔膜配对需按订购配置确认；标准编号保持原文。
型号与尺寸
表格显示不全时，左右滑动查看完整参数。 型号列保持固定。
| 型号 | 端口尺寸（英寸） | 连接 | A（mm） | B（mm） | C（mm） | D（mm） | E（mm） | F（mm） | G（mm） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LD4MS-VC | 1/4 | VCJ 外螺纹 | 57 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| LD6MS-VC | 3/8 | VCJ 外螺纹 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| LD8MS-VC | 1/2 | VCJ 外螺纹 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| LD4MS-VFC | 1/4 | VCJ 内螺纹 | 70.6 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| LD6MS-VFC | 3/8 | VCJ 内螺纹 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| LD8MS-VFC | 1/2 | VCJ 内螺纹 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| LD4MS-TC | 1/4 | 卡套连接 | 48 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| LD6MS-TC | 3/8 | 卡套连接 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| LD8MS-TC | 1/2 | 卡套连接 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| LD4MS-BWC | 1/4 | 管对焊连接 | 54 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| LD6MS-BWC | 3/8 | 管对焊连接 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| LD8MS-BWC | 1/2 | 管对焊连接 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
尺寸单位为 mm，仅供参考，可能变动。尺寸字母对应原 PDF 图纸；安装前按完整型号确认。
订购代码参考
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| 项目 | 代码与含义 |
|---|---|
| 尺寸 | 4 = 1/4 in.; 6 = 3/8 in.; 8 = 1/2 in. |
| 操作 | M = 270° 手动 |
| 连接 | V = VCJ 外螺纹；VF = VCJ 内螺纹；T = 卡套连接；BW = 管对焊连接 |
| 阀座 | C = PCTFE; A = PFA; VS = Vespel® |
| 表面处理 | BA = Ra 10 μin; EP = Ra 5 μin |
| 阀体/隔膜 | SS = SS 316L / SS 316L；SH = SS 316L / Hastelloy C-22；SVH = SS 316L VAR / Hastelloy C-22；SVE = SS 316L VAR / 钴基高温合金 |
| 直通、角式及 L 型流路 | S = 直通；A/A2/A3/A4 = 角式（后入口）；L/L2 = L 型（侧端口） |
目录示例：LD4MS-VC-EP-SH。其他配置请联系 GCTEC；三通、四通代码需确认后选用。 当前 PDF 的流路图与订购表对三通、四通代码的列示不完全一致；三通、四通必须按流向图确认完整订购代码。
资料来源：原始目录 · 第 80、81 页 ↗
